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國內首家!46所成功制備出HVPE氧化鎵同質外延片
來源:新聞中心
發布時間:2021年12月08日 編輯:新聞中心

  日前,46所HVPE研發團隊根據多年的HVPE技術基礎,設計并搭建實驗平臺、調整流場結構和探究復雜的生長規律,經過不懈努力,突破了HVPE同質外延Ga2O3過程中氣相成核和外延層質量控制等難題,成功制備出(001)Ga2O3同質外延片樣品,外延層厚度>10μm,XRD半高寬<50arcsec,表面粗糙度<0.5nm,載流子濃度達到1016cm-3數量級,其關鍵技術指標與國外先進水平相近,樣品已送至國內相關器件研制機構驗證。

  Ga2O3作為新型超寬禁帶半導體材料,具有優良的物理化學特性,在高功率器件領域有著重要應用。雖然國內Ga2O3體單晶制備技術已經取得了顯著進步,但由于國內Ga2O3外延厚膜技術仍存在空白,限制了Ga2O3器件的發展。HVPE作為生長厚膜的最佳方法,目前在國際上只有日本Novel Crystal Technology公司利用此技術研發并量產Ga2O3同質外延片,我國國內尚處于起步階段,罕有HVPE同質外延Ga2O3的相關報道。

  46所作為目前國內首家掌握HVPE Ga2O3同質外延技術的科研單位,HVPE Ga2O3同質外延技術達到了國內領先水平,填補國內相關領域的空白,為相關器件研究提供了有力的技術支撐。接下來,46所將繼續深入Ga2O3同質外延技術研究,優化外延制備工藝,實現高結晶質量和電學特性可控的HVPE Ga2O3同質外延片的穩定制備。

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